潽拓——{精}，分子泵

广州潽拓，EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养

主要特性和优势

       占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。

       受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

          超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。

非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，zui大程度地延长了泵的 使用寿命。

        运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

潽拓——爱德华真空机械泵用途，分子泵

Edwards EXT70H 24V爱德华分子泵维修

     爱德华的Edwards EXT70H分子泵是专为超高真空设计的，其内部涡轮转子是专门为高真空开发的，层数较普通的 EXT70要多很多。     

    本公司紧贴国内外真空行业，市场信息，引进国外及原厂的技术支持，并与国内相关学术单位密切合作，同时拥有德国与日本的在线高速动平衡设备，十年维修经验工程师团队定期参加真空学术研讨，培训，同步获得技术支持，能根据不同的客户要求制定不同的真空获得方案，诚意为客户选取合适的产品，务求令客户节省成本，提高竞争力。

潽拓——爱德华真空机械泵用途，分子泵

Edwards全磁悬浮涡轮分子泵STP-iS2207 爱德华分子泵

技术参数：

入口法兰尺寸                                VG200/ISO200F/ICF253/ISO250F/VG250/ICF305

前级抽气口尺寸                             KF40

抽速                                              N2/Ar2200/1900 ls-1

压缩比                                           N2/H2>107

极限压力                                        10-6 Pa (10-8 Torr)

允许的前级压力                              200 Pa

大气流 N2 *（仅水冷）                3200 sccm

                                                    (5.41 Pam3s-1)

大气流 Ar *（仅水冷）                1000 sccm

                                                    (1.69 Pam3s-1)

额定速度                                        36500 rpm

运转到 90% 额定速度的时间            <8 分钟

固定位置                                       任何方向

输入电压                                        200-240 V

大输入功率（不带 TMS）              750 VA

重量                                               45 kg